Jonapluoščio dulkinimo būdu suformuotų ir atkaitintų iki aukštų temperatūrų HfO2, Sc2O3 ir Al2O3 mišinių sluoksnių įtempių, optinių ir paviršinių savybių tyrimas

Anotacija

Dideli vidiniai įtempiai yra vienas didžiausių jonapluoščio dulkinimo būdu suformuotų optinių dangų trūkumų, mažinančių optinių komponentų plokštiškumą. Aukšto lūžio rodiklio metalų oksidų mišiniai su SiO2 leidžia padidinti daugiasluoksnių dangų lazerio indukuotos pažaidos slenkstį. Tyrime pateikiama HfO2-Al2O3, Sc2O3-Al2O3, HfO2-Sc2O3 mišinių sluoksnių įtempių, optinių ir paviršinių savybių analizė, taikant terminį atkaitinimą plačiame temperatūrų ruože – nuo 300 iki 900 °C. Suformavus HfO2 ir Sc2O3 sluoksnius, pasižyminčius vidutinio dydžio Al2O3 frakcijomis, galima išlaikyti žemą pradinį sluoksnių paviršiaus šiurkštumą, mažėjančią ekstinkciją, taikant terminį atkaitinimą iki aukštų temperatūrų. Šie mišiniai taip pat pasižymi –360...–560 MPa tempiamaisiais įtempiais po kaitinimo iki 500 °C. Gauti duomenys leidžia identifikuoti perspektyvius HfO2(56 %)-Al2O3(44 %), Sc2O3(70 %)-Al2O3(30 %), HfO2(~70 %)-Sc2O3(~30 %) mišinius ir 500–600 °C atkaitinimo temperatūrų ruožą, tinkamus daugiasluoksnių UV optinių dangų projektavimui su kompensuotais įtempiais bei potencialiai didesniu lazerinės pažaidos slenksčiu.