Didelės galios silicio prietaisų izoliavimo griovelių cheminis ėsdinimas

Anotacija

Nagrinėjamas izoliacinio griovelio gylių verčių kitimo intervalo ir jų standartinio nuokrypio mažinimo metodas didelės galios silicio prietaisuose. Nustatyta, kad gilėjant izoliaciniams grioveliams kartu auga standartinis nuokrypis. Izoliacinio griovelio gylių verčių standartinis nuokrypis sumažintas nuo 1,74 iki 0,85 μm, didinant ėsdinimo kasetės sukimosi greitį ėsdiklyje nuo 30 iki 52 aps/min. Nustatyta, kad kartu pakito ir ėsdinimo greitis nuo 13,6 iki 18,6 μm/min. Ištirta ėsdinimo kasetės sukimosi greičio įtaka izoliacinio griovelio dugno formai ir morfologijai.